製品一覧
開封装置
開封装置のトップメーカーとして、強酸による薬液開封装置、レーザー開封装置、活性イオンによるドライ開封装置、そして、切断と研削・研磨を迅速、精密に行う高機能IC裏面研磨装置マルチシャイナーと充実した製品系列がそろっています。
薬液による開封
レーザー開封
プラズマ開封
切削・研削・研磨による開封
ドライエッチング装置
シリコンチップ上のポリイミド、窒化膜や酸化膜などを除去する装置です。上部の保護膜を取り除き、チップの下層構造観察などの不良解析時に有効です。
テスティング装置
パーソナルタイプのカーブトレーサー2nd（FB200）、高速オートマチックテスティングシステム（FB102-0）があります。多ピンのI/Oチェックやスタティック状態での解析に大変有効です。
周辺設備
DPシリーズは、プラスチックモールドオープナーPSタイプ専用に設計された塩ビ製ドラフトチャンバーで、上置きタイプ、横置きタイプのスクラバー装置付きも用意されています。
