故障解析用ドライエッチング装置
概要・特徴
  • 反応性イオンエッチング装置ES403は、最大8インチウエハ単位でのエッチングが可能なドライエッチング装置です。
  • 等方性･異方性の両モードでのエッチングが可能。
  • 安定したエッチングレートと優れたユニフォーミティ。
  • 8インチウエハの処理が可能な大型ステージ。
  • 使い易さを追求。
エッチング実施結果
均一性評価

ウエハーサイズ：　8インチ
測定点：　49点

[エッチング量] i = [エッチング前膜厚] i – [エッチング後膜厚] i
[エッチングばらつき量] i =（[エッチング量] ｉ – [エッチング量平均値]） / [エッチング量平均値]
ポリイミドエッチング
O2を使ってエッチングを行います。
酸化膜、窒化膜エッチング
CF4+O2を使ってエッチングを行います。